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就在美日荷层层封锁的背景下，中国光刻机产业正悄悄撕开一道口子。最近，日本经济新闻发布报道指出，中国很可能成为继荷兰、日本之后，全球第三个掌握独立制造光刻机全产业链能力的国家。 这一判断并非空穴来风，而是基于国内企业近期交付的多台国产光刻机和持续攀升的国产化率数据。 如上海的芯上微装公司推出的那一代AST6200型的光刻机就将其制程的精度都定位于了350纳米的水平，既能满足了新能源汽车、5G基站等领...
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